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●使用材质
接气部
主体:SUS316L
隔膜:SUS316L
滤镜:SUS316(焊接连接规格中未内置过滤器。)
压力计:SUS316L
接头:SUS316(螺钉式连接)
其他接气部:SUS316L(焊接连接)
非接触气体部:SUS316L、SUS316、氟树脂
盖:C3604
调压手柄:ABS树脂、C3604
●TORR系列由于长的实际成果受到高(贵)的信赖的“半导体气体用压力调整器的可以说是代名词“的压力调节器。
●组装全数0.3μ在m级1000的无尘室进行。
●在一次室的流路内置过滤器,减少内部泄漏的发生。
●包括He泄漏测试在内,全部实施出货检查。
●也可以制作电解研磨规格品。(接气金属部表面粗糙度Ra0.25μm)
●TORR-80系列作为一次低压用的中流量机种,将液化气的一次减压、流量
●可用于在必要的配管上使用的调整器等用途