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产品展示
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    影像传输
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  • 超音微少液体流量计μLF-300S

    超音微少液体流量计μLF-300S

    厂家:SONIC索尼克株式会社

    IPA・純水・薬液等の半導体製造工程における微少領域の流量管理に
    •1mL/minからの微少流量測定
    •デジタル信号処理による微少流量高精度測定
    •センサ部分が流体に非接触構造
    •広いレンジアビリティー

    • 产品详情
    • 技术参数
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    μLF-300S(センサ分離型)

    型式

    μLF-300S + μLT-8I (1/8 inch) または μLF-300S + μLT-4I (1/4 inch)

    測定原理

    超音波伝播時間差方式

    被測定液体

    純水、各種薬液

    * 水以外の液体の場合は事前にご確認ください

    適応流体温度範囲

    1580

    * 60以上でご使用の場合は事前にご確認ください

    流体圧力

    0.5MPa 以下

    流体動粘度

    100mm^2/sec 以下

    流量範囲

    0 ml/min 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I)

    0 ml/min 4000 ml/min (μLF-300S + μLT-4I)

    測定精度

    ±0.5%RD (1/8 inch : 200 1000ml/min 条件:室温, 定温の水)

    ±1ml/min (1/8 inch : 0 199ml/min)

    ±0.5%RD (1/4 inch : 800 4000ml/min 条件:室温, 定温の水)

    ±4ml/min (1/4 inch : 0 799ml/min)

    繰返し性

    ±0.2% (純粋, 液温±0.5, 30秒平均値)

    電源

    DC 24V ±10%

    消費電力

    3.6W以下

    重量

    変換器 240g, 検出部 70g

    サイズ W x H x D (mm)

    変換器 97 x 49 x 127

    検出部 90 x 25 x 20 (チューブ含まず)

    検出部

    チューブ素材

    PFA (フッ素樹脂)

    チューブ径

    1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm, 1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm

    構造

    IP65相当

    付属ケーブル

    5m, コネクタ接続

    入出力部

    デジタル入出力

    4線式RS-422, 4線式RS-485

    アナログ出力

    4-20mA (瞬時流量), 負荷抵抗500Ω以下

    積算パルス出力

    1ch (オープンコレクタ)

    アラーム出力

    1ch (オープンコレクタ)

    接点入力

    1ch (ゼロ流量設定又は積算クリア)

    キー入力

    4入力ボタン

    μLF-300(一体型)

    変換器

    型式

    μLF-308I (1/8 inch) または μLF-304I (1/4 inch)

    測定原理

    超音波伝播時間差方式

    測定液体

    水、水溶液、油類、各種薬液

    * 水以外の液体の場合は事前にご確認ください

    適応流体温度範囲

    1060

    * 60以上の場合は事前にご確認ください

    環境温度範囲

    温度:050(結露がないこと)

    流量範囲

    0 ml/min 1000 ml/min (μLF-308I)

    0 ml/min 4000 ml/min (μLF-304I)

    測定精度

    ±1%RD (1/8 inch : 200 1000ml/min, 室温, 水の場合)

    ±2ml/min (1/8 inch : 0 199ml/min)

    ±1%RD (1/4 inch : 800 4000ml/min, 室温, 水の場合)

    ±8ml/min (1/4 inch : 0 799ml/min)

    繰返し性

    ±0.2% (液温±0.5, 30秒平均値)

    応答性

    10 msec

    構造

    屋内仕様 (IP65相当)

    電源

    DC 5V ±10%

    消費電力

    1.5W以下

    重量

    350g (本体部のみ)

    検出部

    チューブ素材

    PFA (フッ素樹脂)

    チューブ径

    1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm, 1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm

    出力部

    シリアルポート

    4線式RS-422

    通信プロトコル

    データビット 8bit 固定, 偶数パリティ固定, ストップビット 1bit固定

    ボーレート

    38400 baud

    シリアル出力データ内容

    瞬時流量値、積算流量値、エラーコード