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综合其他
作为温度控制器 ( 温控器 ) , 1 秒 40 次的取样所带来的效果是方方面面的。
高速取样温度控制器 HA 系列,以 0.025 秒的高速取样实现了至今为止被认为不可能的高速控制系统。
半导体制造装置
使用了石英加热器等的高速升温控制
量 ( 电流 / 电压输入规格 ) 控制
实现1秒40次的超高速反馈控制!
精度±0.1%、可添加2通道控制处理、
多存储功能(通过利用设定变化率限幅器、区域链接、渗透时间实现简易程序控制功能)、
级联控制功能、功率前馈功能、2系统通信接口等等各种功能。
最适合用于半导体制造过程中RTP(Rapid Thermal Process:急速加热处理)操作